第831章 芯片进展3
“第一,纳米片晶体管(gaafet)的刻蚀控制。¢秒章?节?°小@^说???网ee?1已?:发?布?@÷最_新@?·章·节+
我们对纳米片叠层的精度栅极环绕的控制,极其不稳定,这是良率波动的主要来源之一。”
“第二,高介电常数金属栅极(hkmg)的堆叠精度和均匀性。
新材料的热预算和界面态极其敏感,均匀性偏差导致阈值电压(vt)漂移严重。”
“第三,也是最致命的,”他的语气几乎带着一丝绝望。
“极紫外(euv)光刻技术的应用调试。
euv光源的功率稳定性,以及配套的光刻胶掩膜版技术,全部受到最严格的限制,获取极其困难,调试进度几乎停滞。!d,a′k!ai\t?a.\co?m¨
没有稳定可靠的euv光刻,很多关键的精细结构无法实现,良率和性能都无从谈起。”
他指着图表上那个刺眼的数字:
“目前mpw试产的综合良率......仍然在25%30%的区间剧烈波动,最低甚至探至18%。
而且,波动没有收敛的趋势。
姚总,这个良率,对于单颗成本就高达数十美元的高端旗舰芯片来说,是商业上无法接受的。??兰兰??文?±/学?±±更¨?新′最¨(快


